直接比對(duì)法是氦質(zhì)譜檢漏儀在穩(wěn)定工作和引入氣體相同條件下，將參考漏孔流出的氦氣和標(biāo)準(zhǔn)漏孔提供的已知流量的氦氣分別引入校準(zhǔn)室中，用氦質(zhì)譜檢漏儀分別測(cè)量氦氣產(chǎn)生的離子流，通過(guò)比較兩次離子流的測(cè)量值計(jì)算出參考漏孔漏率的一種校準(zhǔn)方法。這種校準(zhǔn)范圍為1×10- 7 Pa·m3/s~1×10- 10 Pa·m3/s。對(duì)同一參考漏孔，采用同樣的校準(zhǔn)測(cè)量，可以采用高斯分布統(tǒng)計(jì)的方法獲得校準(zhǔn)不確定度，其他不確定度分量由氦質(zhì)譜檢漏儀組成的校準(zhǔn)裝置決定，其合成相對(duì)不確定度可達(dá)到10%。

　　氦真空參考漏孔漏率是密封性能檢測(cè)最基本、最廣泛、靈敏度最高的氦質(zhì)譜檢漏法的標(biāo)準(zhǔn)比對(duì)器具，其量值快速、準(zhǔn)確地現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)和比對(duì)，對(duì)產(chǎn)品密封測(cè)試至關(guān)重要。目前對(duì)其校準(zhǔn)有兩類方法，一類是在實(shí)驗(yàn)室條件下的直接校準(zhǔn)定容法和恒壓法，另一類是既能在實(shí)驗(yàn)室條件也可在現(xiàn)場(chǎng)使用條件下進(jìn)行校準(zhǔn)的直接比對(duì)法。

原理與程序

　　直接比對(duì)法氦真空參考漏孔漏率校準(zhǔn)原理如圖1 所示，當(dāng)氦質(zhì)譜檢漏儀工作在穩(wěn)定狀態(tài)時(shí)，用已完成校準(zhǔn)的漏率已知的高精度標(biāo)準(zhǔn)漏孔，在檢漏儀上輸出穩(wěn)定的信號(hào)，同樣未知的被校驗(yàn)的參考漏孔也產(chǎn)生穩(wěn)定的信號(hào)輸出，利用氦質(zhì)譜檢漏儀輸出信號(hào)和漏孔氦漏率的線性關(guān)系，確定出參考漏孔的漏率。

　　圖1 比較法校準(zhǔn)氦真空參考漏孔漏率示意圖

校準(zhǔn)程序

校準(zhǔn)程序如下：

　　(a) 將待校參考標(biāo)準(zhǔn)漏孔1 連接到氦質(zhì)譜檢漏儀的校準(zhǔn)裝置上;

　　(b) 打開漏孔閥門2、3，利用氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)參考漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔抽真空，使校準(zhǔn)室壓力小于1×10- 3Pa;

　　(c) 分別打開標(biāo)準(zhǔn)漏孔閥門3，逐一測(cè)出不同量級(jí)漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)應(yīng)的反應(yīng)值，關(guān)閉標(biāo)準(zhǔn)漏孔閥門3，打開要校準(zhǔn)的參考漏孔，測(cè)得另一反應(yīng)值，選擇兩反應(yīng)值盡可能相近或同一數(shù)量級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔作為比對(duì)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔;

　　(d) 打開待校準(zhǔn)的參考漏孔的閥門2，待校參考漏孔流入校準(zhǔn)室中的氦流量為Q，測(cè)量此時(shí)檢漏儀的信號(hào)輸出I1i;關(guān)閉截閥門2，用檢漏儀測(cè)量系統(tǒng)的本底信號(hào)輸出I01i;

　　(e) 打開所選擇的標(biāo)準(zhǔn)漏孔閥門3，經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)漏孔4 流入檢漏儀中已知氦流量Qs 的氦氣，測(cè)量此時(shí)檢漏儀的信號(hào)輸出為I2i;關(guān)閉截閥門3，用檢漏儀測(cè)量系統(tǒng)的本底信號(hào)輸出I02i;(f) 重復(fù)(d)～(e)的操作過(guò)程，測(cè)量n 組數(shù)據(jù)(n≥6)。

結(jié)論

　　利用氦質(zhì)譜檢漏儀，采用相對(duì)比對(duì)法，可以對(duì)氦真空參考漏孔進(jìn)行校準(zhǔn)，滿足測(cè)試要求精度較低的參考漏孔校準(zhǔn)。