1、熱偶真空計工作特性

　　熱偶真空計是相對真空計，其壓力-熱偶電勢對應(yīng)值難以用計算方法精確求得，因此，常常在標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境條件下，用絕對真空計或用校準(zhǔn)系統(tǒng)經(jīng)校準(zhǔn)確定。在一定的加熱電流條件下，配用DL-3型規(guī)管的熱偶真空計對干燥空氣的校準(zhǔn)曲線如圖4-9和圖4-10所示。

圖4-9 DL-3型熱偶真空計的校準(zhǔn)曲線(10～10^-1Pa)

圖4-10 DL-3型熱偶真空計的校準(zhǔn)曲線 (10²～10Pa)

　　由圖4-10不難看出，當(dāng)壓力從0.1MPa開始逐步降低(圖中未畫出)的一段壓力范圍內(nèi)，熱偶電勢E一直在零值附近，其原因是氣體分子多，傳導(dǎo)走的熱量多，因而熱絲溫度低，熱偶電勢E亦低，而且此時(λ≤r1)熱傳導(dǎo)與壓力無關(guān)，故熱偶電勢E不變化(少量變化是氣體對流引起的)。當(dāng)壓力降至10²Pa時，熱偶電勢E開始增大，這是由于此時氣體傳導(dǎo)走的熱量減少，熱絲溫度已升高。當(dāng)壓力p繼續(xù)降低時，熱偶電勢繼續(xù)增大，但是越來越緩慢，最后趨于一定值。此后，p再降低，E不再變化，即熱偶真空計已達(dá)到其測量極限，這個極限為其測量下限，約為10^-1Pa。

　　為了使用上的方便，通常按照p—E校準(zhǔn)曲線將毫伏計的刻度改成真空度。用這樣刻度的真空計測量時，可直接讀出真空度，再也不需要根據(jù)測得的p-E校準(zhǔn)曲線查被測真空度。

2、氣體種類的影響

　　熱偶真空計對不同氣體的測量結(jié)果是不同的，真空技術(shù)網(wǎng)（http://www.zlyvkd.cn/）認(rèn)為這是由于不同氣體分子的導(dǎo)熱系數(shù)不同引起的。但各種氣體的p-E校準(zhǔn)曲線形狀都類同，因此，在測量不同氣體的壓力時，可根據(jù)干燥空氣(或氮氣)刻度的壓力讀數(shù)，再乘以相應(yīng)的被測氣體相對靈敏度，就可得到該氣體的實際壓力，即

　　通常以干燥空氣(或氮氣)的相對靈敏度為1，其他一些常用的氣體和蒸氣的相對靈敏度如表4-2所示。相對靈敏度表明了氣體熱傳導(dǎo)的性質(zhì)。從表可知，對于氣體分子中具有相同原子數(shù)的氣體或蒸氣，其相對靈敏度Sr隨分子量的增大而增大。

表4-2 一些氣體與蒸氣的相對靈敏度

3、熱偶規(guī)管加熱電流的確定

　　由于制造熱偶規(guī)管所用的材料及工藝等原因，每個規(guī)管的加熱電流均不相同；在使用過程中也會因規(guī)管“老化”使得加熱電流變大；此外，不同測量范圍的加熱電流也有差異。因此，真空技術(shù)網(wǎng)（http://www.zlyvkd.cn/）認(rèn)為在使用熱偶計時，應(yīng)按不同的量程確定規(guī)管的加熱電流。

　�、�10～10^-1Pa量程：規(guī)管須垂直倒置，在真空度優(yōu)于10^-2Pa時調(diào)定加熱電流(此時熱電勢為10mV，即滿刻度)，其加熱電流可調(diào)節(jié)范圍為95～150mA。

　�、�10²～10Pa量程：規(guī)管須垂直倒置，在0.1MPa時調(diào)定加熱電流，其加熱電流可調(diào)節(jié)范圍為175～300mA或以上。

　　熱偶計規(guī)管的結(jié)構(gòu)較電阻式規(guī)管復(fù)雜一些，但p-E校準(zhǔn)曲線受外界溫度的影響較小。