真空計(jì)校方法準(zhǔn)概述

2020-05-06 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理

　　真空計(jì)校準(zhǔn)是真空測量的基礎(chǔ)，是研究和發(fā)展真空測量的有力工具。它不但能使已有的相對真空計(jì)統(tǒng)一在可靠的標(biāo)準(zhǔn)之下，而且還可對發(fā)展中的真空計(jì)進(jìn)行性能的研究。

　　所謂“真空計(jì)校準(zhǔn)”就是對相對真空計(jì)進(jìn)行“刻度”。真空計(jì)刻度是在一定條件下對一定種類氣體進(jìn)行的，從而得到校準(zhǔn)系數(shù)或刻度曲線。因此氣體種類的改變或工作條件的變化，原校準(zhǔn)曲線就不能使用，必須重新進(jìn)行校準(zhǔn)。同一臺測量儀器，更換規(guī)管時(shí)校準(zhǔn)曲線也會發(fā)生變化。由此觀之，對相對真空計(jì)校準(zhǔn)是非常必要的，又要定期進(jìn)行，否則會產(chǎn)生超過允許的測量誤差。

　　校準(zhǔn)是對真空計(jì)整體而言，既包括所謂的一次儀表的真空規(guī)管，又包括所謂的二次儀表的電子線路。通常是二者合在一起進(jìn)行校準(zhǔn)，也可以分別對真空計(jì)規(guī)管和電子線路進(jìn)行校準(zhǔn)，而后者是較為理想的。

　　真空計(jì)校準(zhǔn)的前提是必須有標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)和校準(zhǔn)系統(tǒng)，并通過一定方法進(jìn)行。

　　真空標(biāo)準(zhǔn)有絕對真空計(jì)、標(biāo)準(zhǔn)相對真空計(jì)(或副標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì))和絕對校準(zhǔn)系統(tǒng)。所有絕對真空計(jì)均可作為真空標(biāo)準(zhǔn)。而以絕對真空計(jì)為基準(zhǔn)，將經(jīng)過壓力衰減后精確計(jì)算出的再生低壓力作為標(biāo)準(zhǔn)的真空計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng)稱為絕對校準(zhǔn)系統(tǒng)。

　　如膨脹法校準(zhǔn)系統(tǒng)應(yīng)用靜力熱平衡，其理論基礎(chǔ)為理想氣體的玻意耳定律，把U型管壓力計(jì)校準(zhǔn)下限延伸至高真空(10-4Pa)。穩(wěn)定性和精度高的真空計(jì)，經(jīng)過校準(zhǔn)之后，可作為次級標(biāo)準(zhǔn)，對工作真空計(jì)進(jìn)行校準(zhǔn)，稱這種真空計(jì)為副標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)。

　　在計(jì)量學(xué)中，所謂標(biāo)準(zhǔn)是按精度等級排列的一個(gè)體系。國家技術(shù)監(jiān)督局批準(zhǔn)并于1990年5月1日實(shí)施“真空計(jì)量器具檢定系統(tǒng)"(JJG2022—89)。根據(jù)當(dāng)前真空技術(shù)發(fā)展水平，真空獲得和真空測量范圍，已從大氣壓(105Pa)至極高真空(< lO-10Pa)。但工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中，實(shí)際廣泛應(yīng)用的壓力范圍為10-8～105Pa。

　　為了保證該范圍內(nèi)真空度量值的準(zhǔn)確一致，制定了檢定系統(tǒng)，進(jìn)行真空度量值傳遞，檢定各級真空計(jì)時(shí)器具。該檢定系統(tǒng)主要適用于lO-8～lO5Pa范圍內(nèi)，計(jì)量、科研和工業(yè)部門使用的真空標(biāo)準(zhǔn)裝置和真空計(jì)的檢定。