靜態(tài)膨脹校準(zhǔn)低真空計(jì)方法
2020-05-06 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理
1910年克努曾最早提出靜態(tài)膨脹法壓力校準(zhǔn)系統(tǒng)。靜態(tài)膨脹校準(zhǔn)低真空計(jì)時(shí)，因?yàn)槿萜鞅谖�、放氣不顯著，校準(zhǔn)精度較高。在高真空校準(zhǔn)時(shí)，由于器壁吸、放氣顯著，必須設(shè)法減小其影響。此方法制作簡單、操作方便、運(yùn)算迅速、檢定效率高，且排除了汞蒸氣對人的危害。
膨脹法校準(zhǔn)是基于波意耳定律，即在恒定的溫度下，一定質(zhì)量的氣體的壓力與體積之積為一常數(shù)。
圖29：單級膨脹系統(tǒng)工作示意圖
單級膨脹系統(tǒng)工作示意圖見圖29所示。首先將氣源室中充有需要壓力為p1的校準(zhǔn)氣體，由標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)G2測量。再將校準(zhǔn)室抽氣至低于校準(zhǔn)壓力下限兩至三個(gè)數(shù)量級。這樣可略去校準(zhǔn)室本底壓力對校準(zhǔn)的影響。
每操作一次傳遞閥K4，就將由氣源室中的壓力為p1容積為傳遞容積Vs的氣體輸送到校準(zhǔn)室。第一次膨脹后，校準(zhǔn)室壓力見式27。
第n次膨脹之后，校準(zhǔn)室的壓力pn見式28。
此法計(jì)算簡單，如校準(zhǔn)高真空可用雙級膨脹。
